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曝光機即電子束曝光機是集電子光學、電氣、機勞力士手表http://m.wbiao.cn/rolex-watches/械、真空、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備。

曝光機/光刻機

曝光機是20 世紀 60 年代初從掃描電子顯微鏡基礎上發(fā)展起來，70 年代以后廣泛應用于半導體集成電路制造業(yè)。

基本工作原理

在計算機的控制下，利用聚焦歐米茄手表http://m.wbiao.cn/omega-watches/電子束對有機聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。

應用范圍

用于半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的技術要求。